晶圓FORK又稱牙叉、晶圓拾取器等，具有高潔凈度、高平面度和重量輕等特點，一般由氧化鋁陶瓷、不銹鋼、鋁合金等材質構成。

      產品執行原理涵蓋了真空吸附、伯努利吸附、機械夾持、范德華力等多種方式。在實際應用中微法爾團隊可以對以上幾種原理進行設計整合，對于大翹曲、非接觸、微接觸等要求可提供訂制解決方案。