Aligner是一種用于半導體制造過程中對晶圓進行尋邊并對接的設備。 其工作原理主要是利用光學技術來對晶圓進行邊緣定位。 Aligner晶圓尋邊器系統主要是由光源、光電傳感器、顯微鏡、控制平臺等組成。
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