Ø  內腔無塵等級： Class 10~100

Ø  氧含量控制速率：<20ppm （動態監控）

Ø  系統真空度：<133Pa

Ø  干泵抽速：10min 達到要求的真空度，帶泄漏率監測

Ø  溫度范圍： +60~ +620°C

Ø  工藝溫度范圍：+60~ +600°C

Ø  溫度均勻度： ±1.5% (空載)；

Ø  升溫速率：常溫～+600°C，升溫速率 0～8°C/min以內

Ø  溫控精度： ±0.1°C

Ø  烘箱擱板為活動式，共兩片,擱板承重≥30kg

Ø  工作腔體尺寸:W450mm×H350mm×D620mm x 1 chamber

Ø  外形尺寸:W1310mm×H1765.1mm×D1200mm

Ø  加熱功率: 16Kw。

Ø  支持SECS/GEM & MES 聯機

Ø  設備認證：SEMI S2

備注：可提供不同尺寸內腔烘箱。