Ø  內腔無塵等級： Class 100 （可配置HEPA);

Ø  氧含量控制： <20ppm (動態監控);

Ø  溫度范圍: +60~ +500°C；

Ø  溫度均勻度:±1.5% (空載) ;

Ø  升溫速率：常溫~+400°C，> 6°C/min;

Ø  降溫速率：夾層降溫裝置，平均速率 5℃/min以內，

                        降溫斜率可程序設定，90分鐘內可從375℃降溫到80℃;

Ø  溫度過沖控制： <2℃@200℃，<3℃@300℃；

Ø  溫控精度： ±0.1°C (空載);

Ø  單工作腔尺寸： W966×H715×D588 mm                              

                                W630×D700×H710 mm      

Ø  外形尺寸： W1910 mm×H1930 mm×D1037 mm;

Ø  烘箱擱板為活動式，共兩片, 擱板承重≥30kg;

Ø  加熱功率： 18KW; 支持SECS/GEM & MES 聯機

Ø  設備認證：SEMI S2

備注：1. 能提供小尺寸內腔烘箱。